ASML 新一代多光束检测设备交付客户，效率较传统检测提升 600%

半导体先进製程的检测又有新进步！荷商半导体设备大厂艾司摩尔（ASML）29 日宣布，已经完成针对 5 奈米以上先进製程节点研发的第一代 HMI 多光束检测（MBI）系统的整合测试。型号 HMI eScan1000 成功展示了多光束检测操作，透过 9 条电子束检测扫描，可检测较多数量的晶圆。这与目前单个电子束检查工具相比，eScan1000 因有 9 条电子束，将使作业速度提高多达 600%。