因应半导体新製程的进步,加上相关材料的创新发展,为了使未来半导体产品有更好的生产良率,工研院量测中心与 SEMI 国际半导体产业协会邀集国内相关业者与研究单位,共同成立检测与计量委员会,要为半导体製造未来可能遭遇的挑战寻求解答。
因应半导体新製程的进步,加上相关材料的创新发展,为了使未来半导体产品有更好的生产良率,工研院量测中心与 SEMI 国际半导体产业协会邀集国内相关业者与研究单位,共同成立检测与计量委员会,要为半导体製造未来可能遭遇的挑战寻求解答。