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ASML 以 3 种方式控制半导体微影设备恆温，以打造奈米等级晶片

用户投稿发布于2023-04-23 08:00:51

最近天气热到受不了，人们都想找方法消暑。对半导体製程重要的微影设备，在作业过程产生的热能如何散热，全球最大微影设备製造商艾司摩尔（ASML）说，以下 3 种就是让微影设备保持恆温的方式。

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