EUV 设备每台重量高达 180 公吨，每次运输必须动用 3 架次货机

晶圆製造产业进入 7 奈米製程之后，目前全世界仅剩台积电与三星，再加上号称自家 10 奈米製程优于竞争对手 7 奈米製程的英特尔等，有继续开发能力之外，其他竞争者因须耗费大量金钱与人力物力的情况下，都已宣布放弃。就在 7 奈米製程节点以下先进製程的领域，必不可少的关键就是极紫外线微影（EUV）设备导入。除了三星用在首代 7 奈米 LPP 製程，台积电也自 2019 年开始，将 EUV 导入加强版 7 奈米+ 製程。