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英特格新一代光罩盒通过 ASML 认证，可用于 EUV 技术生产製程

用户投稿发布于2023-04-28 12:00:17

微电子产业特种化学品和材料解决方案厂商英特格（Entegris）宣布，新一代光罩盒已获得半导体生产设备商艾司摩尔（ASML）认证，可用于极紫外光（EUV）微影技术的晶片大量生产，用以保护製造过程中光罩的完整。

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