4 奈米大战,三星抢先用 EUV、拥抱 GAAFET



晶圆代工之战,7 奈米製程预料由台积电胜出,4 奈米之战仍在激烈厮杀。外媒称,三星电子抢先使用极紫外光(EUV)微影设备,又投入研发能取代"鳍式场效电晶体"(FinFET)的新技术,目前看来似乎较占上风。

Android Authority 报导,製程不断微缩,传统微影技术来到极限,无法解决更精密的曝光显像需求,必须改用波长更短的 EUV,才能準确刻蚀电路图。5 奈米以下製程,EUV 是必备工具。三星明年生产 7 奈米时,就会率先採用 EUV,这有如让三星在 6 奈米以下的竞赛抢先起跑,可望加快发展速度。

相较之下,台积电和格罗方德(GlobalFoundries)的第一代 7 奈米製程,仍会使用传统的浸润式微影技术,第二代才会使用 EUV。

製程微缩除了需拥抱 EUV,也需开发 FinFET 技术接班人。电晶体运作是靠闸极(gate)控制电流是否能够通过,不过晶片越做越小,电流通道宽度不断变窄,难以控制电流方向,未来 FinFET 恐怕不敷使用,不少人认为"闸极全环场效电晶体"(Gate-all-around FET,GAAFET)是最佳解决方案。

今年稍早,三星、格罗方德和 IBM 携手,发布全球首见的 5 奈米晶圆技术,採用 EUV 和 GAAFET 技术。三星路径图也估计,FinFET 难以在 5 奈米之后使用,4 奈米将採用 GAAFET。儘管晶圆代工研发不易,容易遇上挫折延误,不过目前看来三星进度最快。该公司的展望显示,计划最快在 2020 年生产 4 奈米,进度超乎同业,也许有望胜出。

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