Nikon 状告 ASML 与伙伴 Carl Zeiss 侵权 半导体设备市场掀波澜

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根据 《路透社》 的报导,日本光学大厂尼康(Nikon) 于 24 日表示,已对荷兰半导体设备大厂艾司摩尔(ASML Holding NV)和合作伙伴卡尔蔡司(Carl Zeiss AG)提起法律诉讼,并表示 ASML 及 Carl Zeiss 两家公司在未经 Nikon 的许可下将其微影(lithography)技术专利用于光刻机上,并运用在半导体製造业中。

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