花莲昨日发生芮氏规模 7.2 的强震,全球科技业者无不关注台湾的强震是否会为供应链带来危机。据 TrendForce 稍早释出的新闻稿指出,本次台湾 403 大地震大多晶圆代工厂都位属在震度四级的区域,加上台湾的半导体工厂多以高规格兴建,内部的减震措施都是世界顶尖水準,多半可以减震 1 至 2 级。
TrendForce 指出,以本次的震度来看,几乎都是停机检查后,迅速复工进行,纵使有因为紧急停机或地震损坏炉管,导致线上晶圆破片或是毁损报废,但由于目前成熟製程厂区产能利用率平均皆在 50~80%,故损失大多可以在复工后迅速将产能补齐,产能损耗算是影响轻微。
此次的花莲地震威力之大,就连台积电昨晚也罕见地对地震发出新闻稿指出,在强震发生后的 10 小时内,晶圆厂设备复原率已超过 70%,新建的晶圆厂 (如晶圆十八厂) 的复原率更已超过 80%。虽然,部分厂区的少数设备受损并影响部分产线生产,主要机台包含所有极紫外 (EUV) 曝光设备皆无受损。
不过台积电也强调,该公司已有资源到位以加速达到全面复原,且已在持续复工中,台积电也会与客户保持密切沟通。将继续密切监控并适时与客户直接沟通相关影响。
在 DRAM 方面,以位于新北的南亚科(Nanya)Fab3A,以及美光(Micron)林口厂受地震影响较大,南亚科该厂区主责 20/30nm 製程的产品,最新製程 1Bnm 正在开发中;美光林口厂与台中厂为 DRAM 重要生产基地,内部系统已将二个厂区合而为一,目前已有最新 1beta nm 製程的投片,后续也将有 HBM 在台湾生产仍需数日时间完全恢复运作,其余厂区多半在停机检查后陆续复工。力积电(PSMC)、华邦电 (Winbond)等均无恙。
晶圆代工方面,台积电包含 Fab2/3/5/8 等多座六吋及八吋厂、研发总部 Fab12,以及最新的 Fab20 宝山工厂均位在震度4级的新竹。其中仅 Fab12 因水管破裂造成部分机台进水,主要影响在尚未量产的 2nm 製程,因此评估短期营运不受影响,但可能因机台受潮需要新购机台,造成资本支出小幅度增加。其余厂区在停机检查后已陆续复工,暂无重大灾损,而其余厂区个别有人员疏散或执行停机检查,现均已陆续恢复运作。
目前产能利用率较高的台积电 5/4/3nm 先进製程厂区,未进行人员疏散,停机检查已在震后 6~8 小时恢复 90% 以上运作,影响仍在可控範围。CoWoS 厂区方面,目前主要运作厂区龙潭 AP3 及竹南 AP6,事发当下立即进行人员疏散,停机检查后发现厂务冰水主机有水损问题,但厂务系统多有备援设施,评估不影响运作,已陆续复工。
此外,联电(UMC)一座六吋厂及六座八吋厂均位在新竹,另有一座十二吋厂位在台南,以 90~22nm 量产为主;力积电包含十二吋 DRAM 与八吋、十二吋 Foundry 皆位在新竹苗栗一带,其中 DRAM 以 25/21nm 製程利基型产品为主;世界先进(Vanguard)共三座八吋厂位于新竹,一座八吋厂位于桃园。上述厂区多半在人员疏散、短暂停机检查后陆续恢复运作。
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