台积电复机逾 8 成、世界先进逐恢复生产作业，厂商最新进度一次看

台湾 3 日发生芮氏规模 7.2 有感地震，目前晶圆厂设备、厂务和供应商都在清明连假日夜抢修，以恢复设备运作，目前更新各厂和各地科技园区的最新进度。

台积电

台积电指出，3 日地震在新竹、龙潭和竹南等科学园区最大震度为 5 级，台中和台南科学园区的最大震度为 4 级。晶圆厂设备的复原率更已超过 80%，新建的晶圆厂（如负责生产 3、5 奈米的晶圆十八厂）预计在当晚皆可完全复原。

虽然部分厂区的少数设备受损并影响部分产线生产，主要机台包含所有 EUV 曝光机皆无受损，而在处于震幅较大地区的部分生产线，预计需要较长的时间调整校正以回复自动化生产。外界认为，这可能是指先进封装重镇龙潭厂，因受地震疏散影响，生产製程设备因网路讯号不稳或断线需重新设定参数，加上地震冲击无尘室空间、管路受损及机台移位，整体调度修复需要花长时间。

联电

联电发言人表示，强震对南科十二吋厂影响较轻，竹科八吋厂较严重，公司机台设备、管线都没有震损，只有设备机台移位、部分石英炉管破损、撒水头损坏、局部办公室天花板损坏等情形。

据市场消息，联电正积极调度人力，使竹科八吋厂设备机台复位，清理破损晶圆，更换石英炉管，预期需要二到三天、甚至一週才能复原。

世界先进

世界先进表示，至 4 日中午为止，约 80% 受影响的机台已经恢复正常，并将逐步恢复生产作业。公司已于地震发生的第一时间通知受影响的客户，与其保持密切繫，并个别沟通细部资讯。

竹科管理局

晶圆及面板製造大厂等大部分工厂在 3 日就完成复机震，虽对产线有些影响，但工厂对于地震已有採取有效措施如採建物及机台耐震设计、人员疏散、机台预防性停机，对于工厂营运影响不大。

目前工厂已正常营运，少部分工厂也正复机校準中，短期内即可正常营运；厂商机台皆陆续复归，人员已回岗位，主要晶圆製造大厂备料充足及复机顺利。

中科管理局

中科园区的部分，厂商以光电、半导体、精密机械产业为主，厂商机台停机后均已陆续复归。其中，半导体厂高精密机台复机已逾 9 成，仅部分机台调校中，4 日当日可全部完成调校正常运作。

南科管理局

截至 4 日中午，经了解区内主要大厂包括台积电、联电、群创、台湾康宁、彩晶等公司，厂房营运皆已恢复正常运作中。将持续关注余震及厂商动态并提供必要协助。

（首图来源：台积电）